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    微奧MEMS陣列芯片分為一維線陣和二維矩陣兩種,目前已開發的一維線陣微鏡包括1*20的WSS波長選擇開關, 二維微鏡矩陣包括8*8和20*20大陣列光交叉互聯(OXC)芯片,其驅動電壓小于10V,芯片偏轉角度可達±10°。


    芯片參數Chip Parameters
    產品應用領域Product Application Areas
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