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    微奧MEMS微干涉模塊是利用MEMS微鏡設計的一款 邁克爾遜干涉儀,可以實現各種光干涉。

    干涉模塊中使用的反射均采用MEMS技術設計加工, 驅動微鏡的電壓低、諧振頻率高、抗沖擊力強、可 實現三維調節,方便使用。

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